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金属靶材的般用途是什么

[发布日期:2019-03-21 14:47:30] 点击:1202


  【什么是靶材】

  靶材就是目标材料。用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏应。用于物理镀膜中的溅镀,主要有金属靶材和陶瓷靶材。

  【什么是溅射靶材】

  磁控溅射镀膜是种新型的物理气相镀膜方式,较之较早点的蒸发镀膜方式,其很多方面的优势相当明显。作为项已经发展的较为成熟的技术,磁控溅射已经被应用于许多域。



  【应用域】

  1:微电子域

  2:平面显示器用靶材

  3:存储技术用靶材

  靶材材料的技术发展趋势与下游应用 产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。如Ic制造商。近段时间致力于低电阻率铜布线的开发, 预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜,这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外,近 年来平面显示器(F P D)大幅度取代原 以阴射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场。亦将大幅增 加ITO靶材的技术与市场需求。此外在存储技术方面。

  溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高 档装饰用品等行业。

  【W-Ti靶材】

  尺寸为:  矩形靶材:L800mm×W200mm×H 客户自选厚度。(为际上同类产品 大尺寸)  圆形靶材:Ф460mm×H 客户自选厚度(为际同类产品 大尺寸)  密度 ≥ 99.9%TD,  纯度 ≥ 99.995%  钨-钛(W-Ti)膜以及以钨-钛(W-Ti)为基的合金膜是高温合金膜,具有系列不可替代的优良性能。W-Ti 合金因具有稳定的热机械性能、低的电子迁移率、高的抗腐蚀性能和化学稳定性使其很容易作为布线扩散阻挡层,别是适合在高电流和高温的环境下使用。

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